激光干涉仪的操作步骤
1.系统的相互连接
将PC10计算机系统与ML10激光干涉仪用通讯电缆连接。
如果需要，将PC10计算机系统与EC10环境补偿单元用通讯电缆
连接。
将PC10、ML10、EC10分别接上电源线，再接到电源插板上。。通过稳压电源，将总电源线接到220V接地电源上。
2.激光的预热
闭合激光干涉仪开关，使激光预热大约15~ 20 分钟，等激光指示灯出现绿色后，表明激光已稳定。

3.测量软件的启动
打开计算机，在“C”提示符下依次键入:
CD/RENISHAW (RETURN)
。RCS  (R ETURN)
。a  (RETURN)
。b  (RETURN)
完成以上步骤后，测量软件已被启动。
4.光学镜的安装

 将反射镜用夹紧块、 安装杆、磁性表座固定在机床运动部件上。

将反射镜和分光镜组合组成干涉镜;将干涉镜用夹紧块、安装杆、磁性表座固定在机床不可运动部件或其它固定部件上。

5.激光调整
调整激光，使其与测量方向一致。调整时，首先用粗光束调，然后用细光束调。

保证信号强度达到测量精度要求并恒定( 由计算机上信号强度指示确定)。

调整透射光线和折射光线重合。
6.日标值设定
根据测量要求，设定目标值，目标值的设定应尽可能的覆盖整个行程范围。

 7.数据采集
按目标值设定要求编制数控测量程序，在每个测量点必须有足够的延时设定(由机床操作人员完成)
.设定数据采集参数，主要包括;线性/圆周、测量次数、单向/双向、
测量信息等。
按“ALI+D”进行数据采集。
数据采集完后，按“ESC”终止采集过程。
8.数据分析
选择“数据分析”菜单，按相关标准要求进行数据分析，分别给出双向定位精度，重复性，反向偏差等精度指标。

 9.计算机系统的退出
按以下步骤退出系统:
按“ALT+X”退回到“主菜单
按“x”退出本软件
按“CD\”退出子目录
关机
10.测量完成后的工作
关闭ML10。
关闭EC10。
关闭电源插板开关。

      激光干涉仪的注意事项
1.搬运仪器附件箱时，应轻拉轻放，防止振坏激光干涉仪或其它附件。

2.三角架在使用时，应将各紧固螺钉固紧，防止意外事故的发生。

3.激光干涉仪在使用时，应用两松紧带固紧。

4.安装光学镜时，要小心谨慎，防止摔坏或碰坏光学镜，特别禁止“悬空”安装光学镜。

5.严禁用手触摸光学镜镜面，保持镜面干净。